QUANTA 200环境扫描电子显微镜（ESEM）是美国FEI公司生产的QUANTA系列产品，型号为QUANTA 200。环境扫描电镜可以获得所有样品表面的信息：收集二次电子信号给出样品的表面形貌像，收集背散射电子信号给出样品的表面成分像，能谱（EDS）可以对样品的元素组成进行定性和定量分析。环境扫描电镜的物镜的下极靴处装有多个压差光阑，使得在保证电子枪室高真空的同时，允许样品室内处于不同的真空状态，因此，ESEM具备更多的功能。ESEM除具备与传统SEM在高真空状态下对样品表面形貌进行成像的功能外，还能在低真空模式(15 Pa—130 Pa)和环境状态模式（130 Pa—2600 Pa）下直接观察样品。ESEM样品的适用范围非常广，可以直接做非导电材料：如高分子材料、陶瓷材料、环境样品、生物医学材料等，而不需喷镀导电膜，分析简便迅速，不破坏样品原始形貌。QUANTA 200样品室大，工作距离大，可以观察大块样品和磁性材料。

二次电子成像分辨率：

1).高真空模式下30KV时3.0nm; 3KV时10nm

2).低真空模式下30KV时3.0nm; 3KV时<12nm

3).环境扫描模式下30KV时3.0nm; 3KV时<12nm

背散射电子成像分辨率：

高真空模式下30KV时4.0 nm

配件（EDS）：EDAX genesis xm-2型能谱，能谱分辨率为129eV

实例展示：

仪器负责人：杨丽